《电子工厂洁净厂房设计规定》GB50472-2008中规定

集成电路对化学污染物的控制指标

洁净室（区）温度和相对湿度要求

洁净送风量（静态）和气流流形

防静电环境设计分级使用场所

项目实景图如下所示：

(千级净化车间)

(万级净化车间)

(十万级净化车间)

(净化车间直流F过滤器）

(光电无尘车间)