《电子工厂洁净厂房设计规定》GB50472-2008中规定
集成电路对化学污染物的控制指标
洁净室(区)温度和相对湿度要求
洁净送风量(静态)和气流流形
防静电环境设计分级使用场所
项目实景图如下所示:
(千级净化车间)
(万级净化车间)
(十万级净化车间)
(净化车间直流F过滤器)
(光电无尘车间)