浅谈湿度控制对无尘车间的影响

无尘车间字面意思是将车间的尘埃粒子数量控制在一定区间范围内。其实,无尘车间控制的还有温度湿度等,这些对于产品制造业的影响都是不容忽视的。 湿度控制和相对湿度对无尘车间的意义:湿度控制是无尘车间生产的重要条件,相对湿度是无尘车间和洁净室运行中常用的环境控制条件。
 半导体无尘车间洁净室的典型相对湿度目标值约在30%至50%之间,允许误差在约1%的狭窄范围内,例如在一个区域,甚至在远紫外线处理(紫外)区更小,在其他地方可放宽至约5%的范围。
       近年来,空气处理工艺一直保持在这些规定的范围内。相对湿度有一系列可能降低洁净室整体性能的因素,包括:细菌生长;员工在室温下感到舒适的范围;静电荷;金属腐蚀;水蒸气的冷凝;光刻退化;吸水率。细菌和其它生物,例如霉菌、病毒、真菌和昆虫,可在相对湿度大于60%的环境中有效繁殖。当相对湿度超过30%时,一些植物群会生长。相对湿度在40%~60%范围内,细菌和呼吸道感染的影响小。相对湿度在40%到60%之间也是一个中等范围的人体感觉舒适。湿度过大会使人感到闷热,而湿度不足30%会使人感到干燥、皮肤破裂、呼吸不适和情绪不适。
       高湿度实际上减少了无尘车间和洁净室表面静电电荷的积累,这是理想的结果。较低的湿度更适合电荷的积累,成为具有破坏性效应的静电放电的潜在来源。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但当相对湿度小于30%时,静电荷可以在绝缘体或不接地表面上长期存在。
       相对湿度在35%~40%之间可以作为一种令人满意的折中,半导体无尘车间、洁净室一般采用附加的控制装置来限制静电电荷的积累。许多化学反应的速度,包括腐蚀过程,都会随着相对湿度的增加而加快。无尘车间和洁净室周围暴露在空气中的所有表面都迅速覆盖至少一层水。当这些表面由能与水发生反应的薄金属涂层组成时,高湿度会加速反应。幸运的是,一些金属(例如铝)可以形成具有水的氧化物的保护层并防止进一步的氧化,但是在另一种情况下,氧化铜例如不是保护性的,因此在高湿度环境中,铜表面更容易受到腐蚀。
       由此可见,无尘车间对湿度有严格甚至苛刻的要求,除湿器在湿度控制方面很好地解决了这一问题。该除湿器可以从根本上解决无尘车间对温度和湿度的严格要求。广雅集团专注净化行业十余年,如果您有相关的设计施工需求可以联系我们,我们将会派出专业的设计施工人员解决您的施工需求。广雅集团从客户的需求出发,精心设计,科学施工,力争打造客户满意的精品工程,咨询热线:400-007-1007.




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