洁净室内设备的进出管理须知
1.工艺设备进入洁净区域前，应事先明确运输路线，清除设备运输通道上的障碍物，包括对活动洁净围护板的拆卸，并作好隔离防护措施，尽可能避免破坏洁净区域的环境；若设备搬入可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设备搬入。
2.隔离防护的设施必须确保严密可靠，能够有效控制污染物的扩散，并注意监控其完好状态，若有破损，及时修补使严密完好。
3.设备进入洁净区域前，必须先在缓冲区（或缓冲地带）进行彻底的清洁和擦拭。
4.在进行设备、材料搬运的过程中，要严格进行洁净控制，设备进车间前注意在洁净缓冲区（或临时缓冲走廊）的相关清洁工作。尤其注意不得穿洁净服经设备、材料通道门到户外，如此经过交叉污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入洁净室，会造成洁净室交叉污染。
5.在设备、材料搬运期间应尽可能避免让步接受可能出现的环境扰动，对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。一定要严格控制污染物扩散，尤其是交叉污染的现象，否则会有高效过滤器（HEPA）的污染损失，以及额外的洁净清理费用。
6.如下图所示，在洁净室批准入口处设置洁净缓冲/管制间，任何进入洁净室内的物品必须经过缓冲间。
7.物品进入洁净室的流程。
室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内最终清洁→传入洁净室内
•首先，室外、缓冲间（或临时缓冲走廊）、洁净室内各有一支搬运组（共三组）候命，这三组人员根据各自的环境身着不同的服装：室外身着普通工作服，缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套，洁净室内身着完整的洁净服，带有口罩和手套等，这三组人互不能进入其它人的工作区域。
•当有设备、物品需要运输时，首先室外组人员对物品进行预清洁，然后打开缓冲间室外侧的门（或设备预留进出外门），将物品传入缓冲区。必须保证，在打开缓冲间室外侧门（或设备预留进出外门）时，洁净室侧的门处于关闭状态。
•缓冲区（或临时缓冲走廊）的那组人员对物品进行最终的清洁，并用干净的洁净布检测合格后，打开洁净室侧的门，将物品传入洁净室内。如此才规范的完成了物品传送和清洁的过程。设备搬入完成并就位后，立即清理设备区域的杂物、拆除隔离防护措施、恢复活动洁净围护板，并对设备搬入区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁，使满足洁净。
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